簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Chao-Chang Chen".eadvisor (精準) and ckeyword.raw="修整軌跡分析"


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    多顆鑽石修整軌跡於軟韌性聚氨酯拋光墊之模擬分析研究
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生: 王澤源 指導教授: 陳炤彰
    • 化學機械平坦化/拋光(Chemical Mechanical Planarization/Polishing, CMP)製程在半導體製程中對於積體電路的製造品質有著舉足輕重的影響,將鑽石修整技術應用…
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